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共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡

更新日期:2024年09月19日
有效期:180天
瀏覽次數(shù):
商家資料
聯(lián)系人:何漢英
部門:市場部
職位:網(wǎng)路推廣
電話:
手機:
地址:中國廣東深圳市深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號南山智園B1棟2樓
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中圖儀器VT6000共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它在半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

三維光學輪廓共聚焦材料顯微鏡

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,能夠實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。

三維光學輪廓共聚焦材料顯微鏡

在材料生產(chǎn)檢測領域中,VT6000共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細,橫向分辨率更高。


不同應用場景下的3D形貌

VT6000共聚焦微觀形貌分析測量顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

三維光學輪廓共聚焦材料顯微鏡


部分技術指標

型號 VT6100


行程范圍

X 100mm
Y 100mm
Z 100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量 50kg
測量原理 共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡 10×;20×;50×;100×
視場范圍 120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺 負載 10kg
控制方式 電動
Z0軸掃描范圍 10mm
物鏡塔臺 5孔電動
光源 白光LED

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