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PPB級超高純半導體防腐專用PFA,石英玻璃,PFA閥門

更新日期:2024年09月11日
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關(guān)鍵字:高純閥門PFA石英花籃PPB級高純涂層
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商家資料
聯(lián)系人:吳笛
部門:商務部
職位:銷售工程師
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地址:中國上海浦東新區(qū)臨港自由貿(mào)易新片區(qū)偉展路175號
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PPB級超高純半導體防腐專用PFA ,高純PFA閥門,應用石英石晶 圓花籃,半導體清洗槽,半導體設(shè)備
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級, 否則會污染晶圓 防腐性 需要有 的耐酸堿性能, 抵御各類強酸強堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會滲透 進入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強度 載重原因,部分無法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時, 會造成晶圓劃傷,需要表 面進行防護,同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運臂

 純度:PPB級 
厚度:100-800μm 
耐酸:氫氟酸+硝酸 
硬度:4H

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