國產(chǎn)3D白光干涉儀0.1nm分辨率測量粗糙度

更新日期：2024年09月19日
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深圳市中圖儀器股份有限公司

聯(lián)系人：何漢英
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產(chǎn)品簡介

中圖儀器SuperViewW1國產(chǎn)3D白光干涉儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實現(xiàn)高測量精度重復(fù)性和高粗糙度RMS重復(fù)性。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1國產(chǎn)3D白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品功能

(1)中圖國產(chǎn)3D白光干涉儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
移動范圍	140×100㎜
負(fù)載	10kg
控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
Z軸聚焦	控制方式	電動
臺階測量
可測樣品反射率	0.05%~100
主機尺寸	700×606×920㎜

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。