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VT6000共聚焦顯微鏡測量表面微觀3D結(jié)構(gòu)

更新日期:2023年02月14日
有效期:180天
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商家資料
聯(lián)系人:何漢英
部門:市場部
職位:網(wǎng)路推廣
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地址:中國廣東深圳市深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓

中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡是一款以共聚焦技術(shù)為原理、用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的檢測儀器??蓪ζ骷砻孢M(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。


激光共聚焦掃描顯微鏡,超精密三維顯微測量儀器.jpg


應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),儀器測量精度高;

2)儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復(fù)性。

2、一體化操作的測量分析軟件

1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;

2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;

4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;

6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除出擊的軟件Z設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài), 大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險。


中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

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